超高真空ステンレス鋼：316L vs . 304 l vs . 440 c

 

なぜ316L-ESUが真空チャンバーのゴールドスタンダードなのですか？
ElectroSlag Remelted（ESU）316Lは、完全なガスを達成します<5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Bulk hydrogen content <0.5 ppm prevents virtual leaks. Certified to ASTM A479 with controlled magnetic permeability (<1.02 μ).

 

UHVシステムでは304L-VARが好ましいのはいつですか？
真空アークがリメルされた304Lは、標準グレード{.の低いニッケル含有量よりも優れた究極の真空（10⁻¹⁰MBAR）を提供します。

 

なぜ真空ベアリングに440Cを使用するのですか？
粒子を含まない操作のための58-60 hrcに硬化{.生産制限中の特別な真空脱ガス.は、で確実に動作します<10⁻⁹ mbar with dry film lubrication.

 

最小限のアウトガスの表面準備？
Electropolishingは20μmの表面層. 400度のベークアウトで48時間{.最終表面粗さRAでフォローします<0.05μm reduces adsorption sites. Hydrogen firing at 950°C for critical components.

 

真空互換性を確認する方法は？
H₂、CO、H₂Oピークスの残留ガス分析器（RGA）テスト.総質量損失<0.1% per ASTM E595. Secondary ion mass spectrometry (SIMS) for surface contaminant mapping.